半導(dǎo)體行業(yè)中采用的清潔劑、顯影劑、光刻技術(shù)、蝕刻液等有機溶劑中富含大量的有機化合物成份，在加工工藝流程中，這種有機溶液絕大多數(shù)根據(jù)蒸發(fā)變成廢氣排出。其廢氣的行為主體是VOCs，與此同時廢氣中還混和了HCl、氨、HF等風(fēng)險污染物質(zhì)，分離出來和解決難度系數(shù)非常大。下邊我們?yōu)槟敿毥榻B半導(dǎo)體廢氣處理方式：

半導(dǎo)體酸廢氣處理方式

半導(dǎo)體廢氣處理通常選用堿液態(tài)噴灑法，又被稱為有機化學(xué)清洗法。因液態(tài)本身具備的融解特點，可以能夠更好地捕獲地基沉降，融解除去污染物質(zhì)，而做到空氣環(huán)保標準，故噴灑法是半導(dǎo)體行業(yè)強酸強堿廢氣整治廣泛采取的關(guān)鍵解決方式。

新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理的方式新材料行業(yè)與傳統(tǒng)式材質(zhì)對比，新材料產(chǎn)業(yè)具備技術(shù)性相對高度聚集，科學(xué)研究與開發(fā)設(shè)計資金投入高，商品的增加值高，生產(chǎn)制造與市面的國際強，及其運用覆蓋面廣，發(fā)展前途好等特性，其產(chǎn)品研發(fā)水準及產(chǎn)業(yè)發(fā)展經(jīng)營規(guī)模已變成評判一個我國經(jīng)濟，社會經(jīng)濟發(fā)展，科技創(chuàng)新和國防安全整體實力的主要標示，世界各地尤其是資本主義國家都十分重視新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢。

做為新材料產(chǎn)業(yè)的象征之一，半導(dǎo)體加工工藝對操作間潔凈度規(guī)定極高，通常應(yīng)用離心風(fēng)機提取加工工藝流程中蒸發(fā)的各種廢氣，因而半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排出具備排量大、排出濃度值小的特性。這種廢氣排出關(guān)鍵可以分成四類：酸性氣體、堿性氣體、有機化學(xué)廢氣和有害氣體。RTO儲熱式垃圾焚燒爐機器設(shè)備，通稱“RTO機器設(shè)備”，是選用高溫毀壞焚燒處理的廢氣整治技術(shù)性。

選用的提溫電力能源一般是電和天燃氣，盡管選用高溫700℃的氣溫開展廢氣處理，但實際上耗費的電力能源并不是很多，這是由于機器設(shè)備可以將熱量回收利用，大幅度降低基礎(chǔ)代謝的一起增強了廢氣分子結(jié)構(gòu)的燃燒化學(xué)反應(yīng)速率。機器設(shè)備的行為主體由燃燒室、不銹鋼填料床和變換閥等組成。機器設(shè)備的清潔高效率也保持平穩(wěn)在99%以上。

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理方式及其比照

半導(dǎo)體行業(yè)有機化學(xué)廢氣處理方式，通常先用沸石轉(zhuǎn)輪對VOCs開展吸咐萃取以后，再用立即燃燒法開展消毀，廢氣凈化處理率做到97%以上。立即燃燒又稱之為立即火苗燃燒，它是把VOCs易燃組分立即燒毀，因而該方式適用凈化處理易燃有危害組分濃度值較高的廢氣，或是凈化處理有危害組分燃燒時發(fā)熱量較高的廢氣；多種多樣易燃氣體或多種多樣有機溶劑蒸汽混和在廢氣中，只需濃度值值適合，還可以立即燃燒。假如易燃組分的濃度值高過燃燒限制，可以滲入氣體后燃燒；假如易燃組分的濃度值小于燃燒最低值，則可以添加一定數(shù)目的輔助然料如天燃氣等，保持燃燒。